Etch 식각 시 나타나는 micro-trench 문제
2019.03.28 15:12
안녕하세요? 식각에 관해 공부하고 있는 대학원생입니다.
요즘 plasma etching 에 관한 리뷰를 보는 중 식각 시 나타나는 etch profile의 distortion에 관해서 써놓은 내용을 보았습니다.
특히, Si 공정 중 micro-trench 현상이 일어나고, 그대로 소자가 만들어 졌을 때에 소자 상에서 어떤 문제가 일어나는지 궁금합니다.
리뷰에 달린 참고문헌을 봐도 distortion에 대한 메커니즘만 설명되어 있고, 실제 소자상에서는 어떤 문제가 있는지 다뤄지지가 않아 너무 궁금합니다...
혹시 이에 대한 문헌이나, 참고할만한 자료가 있으면 답변 부탁드리겠습니다.
감사합니다.
참고한 문헌 : Donnelly, V. M., & Kornblit, A. (2013). Plasma etching: Yesterday, today, and tomorrow. Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, 31(5), 050825.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76541 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20077 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68615 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91697 |
23 | 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] | 235 |
22 | Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] | 967 |
21 | DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] | 792 |
20 | dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] | 1395 |
19 | DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] | 1322 |
18 | 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] | 2675 |
17 | N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] | 8601 |
16 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8124 |
15 | 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] | 20308 |
14 | 대기압 플라즈마 | 40676 |
13 | 상압 플라즈마 관련 문의입니다. [1] | 21510 |
12 | 대기압플라즈마를 이용한 세정장치 | 21536 |
11 | 대기압 상태의 플라즈마 측정 | 19721 |
10 | Lissajous figure에 대하여.. | 20612 |
9 | 기중방전에서 궁금한것이 | 19160 |
8 | 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. | 19751 |
7 | DBD플라즈마와 플라즈마 impedance | 20202 |
6 | DBD plasma | 18081 |
5 | 플라즈마를 이용한 오존 발생장치 | 28895 |
4 | DBD란 | 27694 |
소자의 식각 데미지에 대해서는 아마도 성균관대학교 염근영교수님께서 답변을 주실 수 있으실 것 같습니다.