ICP 공정플라즈마

2019.10.27 18:33

sungsustation 조회 수:893

교수님 안녕하세요. 플라즈마 공부하고 있는 학부생인데 기초가 많이 부족해서 질문드립니다.


1. 공정플라즈마에서 전자 온도가 이온, 중성기체의 온도 보다 매우 높은 이유는 무엇인지 궁금합니다.


2. 플라즈마에 유체방정식이 무엇이고 각 항의 의미가 어떻게 되는 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [159] 73018
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17612
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55513
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65694
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86025
26 ICP lower power 와 RF bias [1] 393
25 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 438
24 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 540
23 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 508
22 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 1363
21 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1473
20 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 759
19 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 991
18 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1859
17 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2165
16 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 2653
15 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1239
14 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 1491
» 공정플라즈마 [1] 893
12 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1433
11 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1314
10 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1681
9 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 22788
8 glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 21480
7 플라즈마가 불안정한대요.. 24365

Boards


XE Login