ICP ICP 대기압 플라즈마 분석

2021.11.11 14:47

플라즈마스터 조회 수:340

안녕하세요. 교수님,

 

 

합성을 목적으로 두고 있는 5kW, 13.56MHz RF generator, ICP coil 을 이용해 대기압 플라즈마를 생성할 때 플라즈마 특성을 분석을 하고 싶은데,  일반적으로 많이 사용하는 RGA는 진공 환경에서 작동되는 것으로 알고있습니다. 관련 내용을 홈페이지에서 검색해 보니 2004년도에 교수님께서는 탐침과 OES 등을 이용해 분석하셨다고 쓰여있는데,

 

1. 혹시 그 동안 분석 방법에 대해서 발전된 것이 있는지,

2. 여전히 같은 방법으로 사용하고 계시다면 탐침과 OES로 어떤 것을 사용하였는지 

 

제가 고체 물리 전공이지만 시료 합성을 위해 PECVD 관련 내용을 공부한지 얼마 안돼 관련 전공 지식이 많이 부족한 상태입니다. 추가적으로 해당 모델에 대해서 제가 공부하기 좋은 내용을 추천해 주시면 감사하겠습니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [99] 3633
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15314
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50570
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62981
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82016
24 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 346
» ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 340
22 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 664
21 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1305
20 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 503
19 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 743
18 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1551
17 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 1960
16 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 1955
15 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 962
14 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 1041
13 공정플라즈마 [1] 755
12 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1140
11 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 878
10 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1560
9 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 22503
8 glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 21347
7 플라즈마가 불안정한대요.. 24271
6 No. of antenna coil turns for ICP 22741
5 ICP TORCH의 냉각방법 15767

Boards


XE Login