B dot 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다.
2017.11.27 04:58
플라즈마 진단에서 로고스키 코일의 역할이 무언가요?
로고스키 코일의 원리는 무엇인가요>???
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [234] | 75741 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19424 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56652 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67977 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90170 |
43 | ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] | 304 |
42 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 463 |
41 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 589 |
40 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] | 574 |
39 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 473 |
38 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 1157 |
37 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 626 |
36 | Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] | 3232 |
35 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] | 1294 |
34 | EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] | 1473 |
33 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1260 |
32 | Wafer particle 성분 분석 [1] | 2216 |
31 | charge effect에 대해 [2] | 1402 |
30 | Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] | 1411 |
29 |
고전압 방전 전기장 내 측정
[1] ![]() | 1003 |
28 | I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 1212 |
27 | OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] | 25274 |
26 |
langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다.
[1] ![]() | 945 |
25 | VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] | 2725 |
» | 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] | 1287 |
로고스키 코일은 플라즈마 전류로 부터 발생하는 자기장을 유도 기전력으로 측정하는 장치로서, Faraday's induction 법칙을 활용함으로 b-dot probe라고도 표현이 됩니다. 기전력 값을 키우기 위해서 coil turn 수가 늘어나게 되고, coil를 잘 감고 내부 기생 전압을 제거하기 위해 coil의 역방향을 추가하는 등의 tip이 있습니다만, 기본적인 플라즈마 진단 방법이니 plasma diagnostics 관련 자료를 보면 구동 원리와 제작 방법을 확인하실 수 있겠습니다. 많은 경우 제작 한 후에 calibration 과정을 거쳐 민감도를 향상시키게 됩니다.