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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [ONO 공정 중 질화막 모니터링]
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VI sensor를 활용한 진단 방법 [Monitoring과 target]
[2] | 3127 |
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Wafer particle 성분 분석 [플라즈마 세정]
[1] | 2463 |
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[질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [OES, VI 신호 및 가상계측 인자]
[2] | 2259 |
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잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [군산대학교 주정훈 교수님]
[1] | 2124 |
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ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [Excitation transfer 반응과 방사천이율]
[1] | 2010 |
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EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [Plasma spectroscopy]
[1] | 1879 |
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OES 분석 관련해서 질문드립니다. [Intensity 넓이 계산]
[1] | 1708 |
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charge effect에 대해 [Self bias 및 capacitively couple]
[2] | 1664 |
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Plasma 발생영역에 관한 질문 [Plasma sheath의 형성과정]
[2] | 1550 |
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Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [전자 소실 및 플라즈마 전위]
[3] | 1511 |
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I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [전자전류의 해석]
[1] | 1462 |
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플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [B-dot probe, plasma diagnostics]
[1] | 1425 |
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DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [플라즈마 공간 분포 진단]
[1] | 1246 |
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고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격]
[1]  | 1164 |
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langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground]
[1] | 1149 |
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OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단]
[1] | 959 |
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플라즈마 진단 OES 관련 질문 [OES와 atomic spectroscopy]
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CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료]
[1] | 834 |
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OES를 통한 공정 개선사례가 있는지 궁금합니다. [플라즈마의 분포와 공정 진단]
[1] | 768 |
