Others 활성이온 측정 방법
2017.11.07 15:04
안녕하세요
배가스 제거 기술 개발을 하고 있는 직장인 이성수라고 합니다.
플라즈마 관련 문의 사항이 있어서 연락을 드립니다.
오존을 이용하여 gas를 분해하는 기술에 대해서 알아보고 있는데요
오존이 아닌 플라즈마 이온이 gas를 분해하는데 더 강한 산화제로 작용울 할수 있는것 같습니다.
그래서 오존발생기(플라즈마방식)에서 오존 외에 활성이온량을 측정할수 있는 방법을 찾고 있습니다.
활성이온량을 측정할수 있는 방법이 있는지요?
그리고 플라즈마 밀도를 측정하기 위해서 EOS 를 사용하는 것으로 알고 있는데요
플라즈마 밀도와 활성이온량의 의미는 같은것인지요?
현재 활성이온 측정 방법을 알수 없어서 개선방법을 못찾고 있습니다.
교수님의 고견 부탁 드립니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] | 75427 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19163 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56479 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67558 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 89368 |
| 43 | ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] | 262 |
| 42 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 415 |
| 41 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 431 |
| 40 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] | 513 |
| » | 활성이온 측정 방법 [1] | 529 |
| 38 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 529 |
| 37 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 598 |
| 36 |
langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다.
[1]  | 916 |
| 35 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 935 |
| 34 |
고전압 방전 전기장 내 측정
[1] | 988 |
| 33 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 1084 |
| 32 | I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 1182 |
| 31 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1233 |
| 30 | 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] | 1273 |
| 29 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] | 1274 |
| 28 | charge effect에 대해 [2] | 1361 |
| 27 | Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] | 1389 |
| 26 | EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] | 1417 |
| 25 | ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] | 1683 |
| 24 | 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] | 1822 |
관련 연구는 기계 연구소의 송영훈박사 팀에서 아주 오랫동안, 매우 열심히 연구를 하고 있는 분야입니다. 따라서 기계 연구소 송영훈 박사 팀을 소개합니다. https://www.kimm.re.kr/eco04 (한국기계연구원/환경시스템연구본부/플라즈마연구실)에 방문을 추천합니다.