안녕하세요. 한국기계연구원과 전기집진기 관련하여 테스트를 진행중인데,

여기에 플라즈마나 랭뮤어프로브와 유사한 기술이 관련있는 것으로 알고있습니다.

400mm*400mm 사이즈의 2개의 판재가 200mm 간격으로 배열되어있고, 그 중간 지점에 방전침이 있습니다.

방전판과 방전침 사이에 20kV정도 고전압을 인가하면 파란 방전이 약하게 형성됩니다.

X,Y,Z축으로 움직일 수 있는 모션 스테이지 끝부분에 알루미나로 외부를 절연시킨 탐침침을 고정했습니다.

프로브를 밀어넣어 멀티미터로 측정하여 아래 그림와 같은 결과가 나왔습니다.

2018-09-18_093510.png

저는 단순히 멀티미터에 방전판을 공통라인으로 연결하고 프로브에서 측정하였습니다만.

바이어스전압을 인가하여 측정을 해야한다는데, 바이어스전압이 어떤 의미인지? 어떻게 연결하여야하는지 도움을 받고 싶습니다.

현재는 프로브에 반대극성의 고전압을 연결하여 측정하는 방법을 생각중에 있습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [103] 3678
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15366
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50582
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63013
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82208
38 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 340
37 활성이온 측정 방법 [1] 420
36 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 632
35 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 724
34 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 749
33 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 786
32 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 792
» 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 828
30 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 885
29 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 889
28 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 904
27 charge effect에 대해 [2] 1134
26 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1196
25 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1355
24 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1513
23 Wafer particle 성분 분석 [1] 1891
22 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 1950
21 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 2938
20 자료 요청드립니다. [1] 5985
19 RGA에 대해서 10162

Boards


XE Login