Others 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다.
2017.01.04 11:49
안녕하세요 RGA에 관하여 궁금한 점이 있습니다.
지금 저희가 사용하는 RGA는 인피콘 Transpector MPH 이고 SUS진공챔버에 사용하고 있습니다.
RGA 운용은 -3~4Pa 이하대에서 진행하고 있고 SUS챔버 Baking 시 잔류가스분석에 사용하고 있습니다.
한번 사용 할 때마다 70시간 정도씩 외벽90도(내벽130도)로 사용하고 있는데 이온소스가 오염되는 현상이 일어나고 있습니다.
혹시 RGA 이온소스 오염 원인에 대해서 알 수 있을까요?
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76683 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57157 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68677 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92193 |
| 43 | ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] | 434 |
| 42 | 활성이온 측정 방법 [1] | 572 |
| 41 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 584 |
| 40 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 601 |
| 39 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 702 |
| 38 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 712 |
| 37 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] | 753 |
| 36 |
langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다.
[1]  | 1012 |
| 35 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 1020 |
| 34 |
고전압 방전 전기장 내 측정
[1] | 1062 |
| 33 | I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 1306 |
| 32 | 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] | 1319 |
| 31 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1343 |
| 30 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 1354 |
| 29 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] | 1370 |
| 28 | Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] | 1452 |
| 27 | charge effect에 대해 [2] | 1463 |
| 26 | EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] | 1640 |
| 25 | ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] | 1841 |
| » | 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] | 1959 |