OES CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료]

2021.07.16 18:01

삼성취뽀 조회 수:796

현재 BTO 박막을 CF4/Ar gas 를 이용하여 플라즈마 식각을 진행하고 있습니다. 

OES 분석을 위해 CF3 파장이 필요한데 제가 가지고 있는 data에 없어서 이렇게 문의 드립니다.

혹시 OES 분석이나 실험 분석에 사용했던 CF3의 파장이 있으시다면 알려주실수 있으신가요?

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