Langmuir Probe Langmuir probe tip 재료

2004.06.19 16:08

관리자 조회 수:20138 추천:273

Langmuir probe tip의 재료는 집속이온에 의한 이차 전자 방출계수가 낮은 물질이며 고전류 흐름시 용융되지 않는 용융점이 높은 성질을 갖는 물질을 선택합니다. 이런 조건을 맞추는 것으로 텅스텐(W), 몰리브데니움(Mo), 탄탈리움(Ta)등을 많이 사용하고 있습니다. 때로 플라즈마 밀도가 높은 경우에 사용되는 탐침 팁으로 흑연팁이 사용되기도 합니다. 용융점이 높은 이유이지요. 원칙적으로는 도체는 어떤 재료나 탐침의 재료로 사용할 수는 있으나 탐침으로부터 불순물이 나오는 문제에 깊은 고려를 해야할 것입니다. 또한 탐침 팁의 크기는 탐침 팀 근방에서 형성되는 쉬스의 크기에 비해 커야 측정이 편리하게 됩니다. 따라서 탐침 설계 및 해석에 있어서 이에 대한 고려를 해야 합니다.
더욱 자세한 내용은 다음 서적을 참고하시기 바랍니다.
Plasma Diagnostics 1 (edited by O. Auciello and D. Flamm : Academic Press 1989)
chapter 3 : How Langmuir Probes Work ?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [62] 1520
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 2316
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49510
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59719
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75635
38 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 201
37 활성이온 측정 방법 [1] 355
36 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 400
35 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 460
34 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 669
33 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 679
32 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 723
31 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 733
30 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 734
29 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 744
28 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 770
27 charge effect에 대해 [2] 1070
26 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1122
25 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1259
24 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1409
23 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 1559
22 Wafer particle 성분 분석 [1] 1564
21 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 2735
20 자료 요청드립니다. [1] 5865
19 RGA에 대해서 10092

Boards


XE Login