Others 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다.
2017.01.04 11:49
안녕하세요 RGA에 관하여 궁금한 점이 있습니다.
지금 저희가 사용하는 RGA는 인피콘 Transpector MPH 이고 SUS진공챔버에 사용하고 있습니다.
RGA 운용은 -3~4Pa 이하대에서 진행하고 있고 SUS챔버 Baking 시 잔류가스분석에 사용하고 있습니다.
한번 사용 할 때마다 70시간 정도씩 외벽90도(내벽130도)로 사용하고 있는데 이온소스가 오염되는 현상이 일어나고 있습니다.
혹시 RGA 이온소스 오염 원인에 대해서 알 수 있을까요?
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76726 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20182 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68698 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92276 |
| 23 | Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] | 3323 |
| 22 | VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] | 2871 |
| 21 | Wafer particle 성분 분석 [1] | 2320 |
| » | 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] | 1963 |
| 19 | ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] | 1848 |
| 18 | EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] | 1644 |
| 17 | charge effect에 대해 [2] | 1465 |
| 16 | Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] | 1454 |
| 15 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] | 1375 |
| 14 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 1368 |
| 13 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1349 |
| 12 | 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] | 1319 |
| 11 | I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 1318 |
| 10 |
고전압 방전 전기장 내 측정
[1]  | 1065 |
| 9 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 1021 |
| 8 |
langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다.
[1] | 1016 |
| 7 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] | 762 |
| 6 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 715 |
| 5 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 705 |
| 4 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 604 |