Others laser induced plasma의 측정에 관하여

2004.06.21 15:31

관리자 조회 수:14731 추천:271

질문 ::

안녕하세요 저는 기계공학과 이성환교수님 연구실의 석사3기 최인석입니다.
다름이 아니라 레이저로 steel등을 가공할때 발생하는 플라즈마의 밀도를 측정하는데 어떤 방법이 사용될 수 있을지 알고 싶습니다.

답변 ::

Ablation plasma를 측정하기는 매우 까다로운 문제일 것 입니다.
특히 대기압 상태에서 측정이 되었다 하더라도 다음과 같은 점이 고려되어 있는지 확인하여야 할 것 입니다.
대기압 플라즈마는 매우 충돌성이 커서 충돌성에 대한 고려가 되어 있는 가?
이러한 플라즈마는 pulse 형태로 발생되며 측정하여야 함으로 시간에 대한 resolution이 정확한가?
만들어진 플라즈마의 이온의 종류를 어떻게 결정하였는가?
최소한 이러한 조건에 대한 정보가 전제된 측정이어야 할 것 이며 이 조건을 맞추기 위한 장치는
ablation 장치에 버금가는 투가가 요구될 것 으로 사려되고 운영에도 고도의 기술이 요구될 것 입니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76677
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57151
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68673
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92186
23 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3318
22 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2867
21 Wafer particle 성분 분석 [1] 2314
20 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1959
19 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1841
18 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1640
17 charge effect에 대해 [2] 1463
16 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1451
15 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1370
14 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 1354
13 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1343
12 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1319
11 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1306
10 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1061
9 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1020
8 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1012
7 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 752
6 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 711
5 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 702
4 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 601

Boards


XE Login