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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70428
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13 OES 원리에 대해 궁금합니다! [플라즈마 빛의 파장 정보] [1] 26922
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10 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [ONO 공정 중 질화막 모니터링] [2] 3445
9 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [Excitation transfer 반응과 방사천이율] [1] 2007
8 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [Plasma spectroscopy] [1] 1872
7 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [Intensity 넓이 계산] [1] 1702
6 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 955
5 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [OES와 atomic spectroscopy] [1] 892
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3 OES를 통한 공정 개선사례가 있는지 궁금합니다. [플라즈마의 분포와 공정 진단] [1] 765
2 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] 762
1 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [SiC 식각과 Ring 교체 주기 및 모니터링 방법] [1] 583

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