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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20162
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68684
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159 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 14
158 skin depth에 대한 이해 [1] 115
157 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 70
156 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 80
155 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 109
154 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 100
153 ICP에서 전자의 가속 [1] 130
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151 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 143
150 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 79
149 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 317
148 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 349
147 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 540
146 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 248
145 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 674
144 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 595
143 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 676
142 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 433
141 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 615
140 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1170
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