ESC ESC Cooling gas 관련
2019.02.21 19:22
Etch공정에서 ESC Cooling gas로 He을 주로 사용하는데 열전도도가 좋고 불활성가스라는 이유로 많이 사용되는것으로 알고있습니다
비교적 원가가 저렴한 N2가스를 사용하는 경우도 있을까요? 열전도도 반응성이 N2또한 괜찮은것으로 알고있는데 혹시 문제가 있을까요?
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76726 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20179 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57166 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68697 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92275 |
10 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1349 |
9 | 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] | 1065 |
8 | I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 1318 |
7 | langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] | 1016 |
6 | pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] | 22620 |
5 | 플라즈마 측정기 [1] | 21332 |
4 | 대기압플라즈마 진단 | 21025 |
3 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19687 |
2 | Langmuir probe tip 재료 | 20408 |
1 | 탐침법 | 27835 |
질소 화합물이 만들어 질 수가 있으니, 삼가하시는 것이 좋을 것 같고, 최근 추세는 ESC 온도를 정밀하게 제어하는 방법에 대해서 관심들이 많이 있어 보이니 참고하시기 바랍니다.