안녕하세요. 플라즈마를 이용한 연료 개질 관련 연구를 시작한 대학원생입니다.

플라즈마를 기반으로한 연구는 처음이라 교과서 위주로 공부를 하고 있습니다만, 실제 연구 과정에서 오는 어려움 때문에 질문드립니다.

(전기 신호와 관련한 공부를 한적이 없기 때문에 연구하는데 큰 어려움이 있는 것으로 판단하고 있습니다.)

 

먼저, 글라이딩 아크 방전 플라즈마 반응기를 사용하고 있으며, AC power supply로 반응기에 전력을 인가하고 있습니다. (20kHz, 수kV, 수mA 범위)

 

해당 파워 서플라이를 통해 인가하는 전력을 변화 시켰을 때, 개질되는 양을 측정하려고 합니다.

이에 대하여 전력의 크기가 변해도 아크 방전 플라즈마가 안정적으로 형성되는 것이 우선시 되어야 할텐데, 저전력(약 500~700W) 인가 시에는 플라즈마가 안정적으로 작동하지만 전력을 높이는 경우 (약 1kW) 플라즈마가 잘 형성되지 않습니다.

이는 파워 서플라이와 반응기(챔버+플라즈마) 사이의 임피던스가 맞지 않아 안정적으로 작동이 되지 않는 것으로 판단됩니다.

해당 게시판에 RF 파워 서플라이와 부하 사이의 임피던스 매칭에 대한 내용은 꽤 있는데, 다른 형태의 파워서플라이의 경우에는 임피던스 매칭을 어떻게 해야되는지 감이 전혀 안옵니다.

이러한 문제를 해결할 수 있는 방법이나, 도움되는 자료를 알려주시면 감사하겠습니다.

 

다음으로, 랭뮤어 프로브를 통해 플라즈마의 밀도 및 전자 온도 등을 측정할 수 있는 것으로 아는데 상용 프로브는 가격이 고가여서 구입에 어려움이 있습니다. PAL 에서는 랭뮤어 프로브를 자체 제작해서 사용하시는지 궁금하고, 자체 제작의 난이도가 궁금합니다.

 

전기 관련 지식이 너무 부족한 바 질문이 어리석어도 이해 부탁드립니다.

 

답변 기다리겠습니다.

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20168
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68688
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92255
101 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1511
100 RF matcher와 particle 관계 [2] 2912
» 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1269
98 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1513
97 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 2003
96 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 14777
95 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1455
94 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1411
93 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1845
92 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2341
91 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2317
90 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3614
89 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1112
88 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2435
87 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 585
86 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 957
85 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5518
84 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 843
83 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1703
82 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2579

Boards


XE Login