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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[268]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20175 |
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1]  | 2579 |
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Bais 인가 Cable 위치 관련 문의
[1] | 546 |
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알고싶습니다
[1] | 1456 |
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Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
[2] | 2816 |
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전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1] | 1597 |
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Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 3191 |
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Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 3915 |
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Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 3686 |
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matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다.
[1] | 10344 |
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매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다.
[1] | 839 |
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임피던스 매칭회로
[1] | 2804 |
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71 |
대학원 진학 질문 있습니다.
[2] | 1157 |
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chamber impedance
[1] | 2009 |
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매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~
[1] | 5065 |
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Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다.
[2] | 6269 |
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matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 3178 |
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66 |
dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 3507 |
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65 |
임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[4] | 2329 |
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ESC Cooling gas 관련
[1] | 3532 |
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CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1] | 1324 |
