Chamber component RF matcher와 particle 관계

2022.02.01 18:52

윤용인 조회 수:2859

안녕하세요. 대학교 졸업을 앞둔 학부생입니다.

이해가 잘 되지 않는 부분이 있어 여쭙습니다.

 

RFG를 통해, RF 주파수를 공급하여, plasma를 형성하는 것으로 알고 있습니다. 

 

이 때, 공급되는 RF 주파수를 최대한으로 공급하기 위하여, matcher를 이용하여, 조절한다 배웠습니다.

 

여기서 이해가 잘 안가는 부분이, 고주파의 진행파와 반사파의 비를 조절하여 임피던스 매칭을 시키는 것인가요?

무엇을 이용하여, 어떤 파라미터를 조절하여 최대 전력을 조달하는지 이해가 잘 가지 않습니다..

 

matching이 깨지게 되면,왜 arcing이 발생하고 왜 chamber 내에 particle이 발생하여 wafer scrap이 발생하는지도 잘 모르겠습니다..

 

다소 기초적인 지식이지만, 제가 가지고 있는 반도체 책, 학부 수업에서는 이 정도까지의 정보가 없어 이렇게 여쭙게 되었습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76543
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
101 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1479
» RF matcher와 particle 관계 [2] 2859
99 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1250
98 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1485
97 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1950
96 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 14688
95 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1446
94 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1384
93 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1808
92 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2294
91 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2270
90 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3565
89 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1099
88 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2418
87 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 578
86 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 951
85 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5465
84 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 832
83 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1685
82 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2566

Boards


XE Login