번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76677
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57151
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68672
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92182
81 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 546
80 알고싶습니다 [1] 1447
79 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2812
78 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1596
77 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3175
76 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 3902
75 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3684
74 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 10326
73 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 839
72 임피던스 매칭회로 [1] file 2799
71 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1154
70 chamber impedance [1] 2006
69 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 5055
68 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6264
67 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3170
66 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3485
65 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2326
64 ESC Cooling gas 관련 [1] 3522
63 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1323
62 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 632

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