번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [233] 75734
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19417
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56647
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67965
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90140
37 ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] 21122
36 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24652
35 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] 19781
34 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23239
33 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22873
32 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 47482
31 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25533
30 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24720
29 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24379
28 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27138
27 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 41006
26 석영이 사용되는 이유? [1] 19894
25 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] file 21035
24 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 25892
23 matching box에 관한 질문 [1] 29563
22 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 22155
21 Arcing [1] 28261
20 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24711
19 CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] file 20270
18 scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] 19149
쓰기
태그

Boards

XE Login