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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67974
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90166
117 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 48
116 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 206
115 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 238
114 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 246
113 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 265
112 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 268
111 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 344
110 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 486
109 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 491
108 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 521
107 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 527
106 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 534
105 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 540
104 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 578
103 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 616
102 RF 파워서플라이 매칭 문제 725
101 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 774
100 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 774
99 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 792
98 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 868
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