ESC ESC Cooling gas 관련

2019.02.21 19:22

jake88 조회 수:3514

Etch공정에서 ESC Cooling gas로 He을 주로 사용하는데 열전도도가 좋고 불활성가스라는 이유로 많이 사용되는것으로 알고있습니다

비교적 원가가 저렴한 N2가스를 사용하는 경우도 있을까요? 열전도도 반응성이 N2또한 괜찮은것으로 알고있는데 혹시 문제가 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
81 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 542
80 알고싶습니다 [1] 1438
79 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2805
78 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1587
77 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3112
76 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 3858
75 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3637
74 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 10223
73 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 835
72 임피던스 매칭회로 [1] file 2789
71 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1146
70 chamber impedance [1] 2003
69 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 5021
68 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6249
67 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3136
66 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3385
65 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2306
» ESC Cooling gas 관련 [1] 3514
63 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1318
62 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 628

Boards


XE Login