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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67540
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116 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [1] 79
115 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 140
114 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 123
113 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 161
112 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 133
111 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 210
110 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 303
109 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 454
108 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 456
107 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 493
106 Plasma Arching [1] 850
105 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 745
104 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 726
103 RF 파워서플라이 매칭 문제 691
102 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 892
101 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1252
100 RF matcher와 particle 관계 [2] 2205
99 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1053
98 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1278
97 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1583
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