Matcher matching box에 관한 질문

2010.05.05 13:54

김정욱 조회 수:29665 추천:212

안녕하세요...
저는 반도체 회사에서 근무하는 사람입니다..
matching box 관련하여 질문이 있어서 글을 올립니다..
현업에서 matching box관련 monitoring하는 parameter중 Load position과 Tune position이란 게 있습니다..
여기 사이트에서 load capacitor와 tune capacitor 얘기가 언급되어 아마 capacitor 관련 용어인 것으로 짐작
되어 지는데 정확한 의미와 역할을 알고 싶습니다..
제 나름대로 확인한 바로는 impedance matching은 L nework와 Pi network가 있는데 위에서 언급한 Load
capacitor와 Tune capacitor는 Pi network에서 사용되는 2개의 capacitor 이름인가요?
답변 부탁 드립니다..

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76727
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20183
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68699
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92278
122 플라즈마 설비에 대한 질문 13
121 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 53
120 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 68
119 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 213
118 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 330
117 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 348
116 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 357
115 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 391
114 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 405
113 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 480
112 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 544
111 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 546
110 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 549
109 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 585
108 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 625
107 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 634
106 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 657
105 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 701
104 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 742
103 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 785
쓰기
태그

Boards

XE Login