Chamber component 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件
2020.12.10 23:26
안녕하세요.
반도체 장비를 생산하는 업체의 연구실 소속 최재혁이라고 합니다.
자사가 생산하는 제품중에 오존 발생기가 있으며 이 생산 제품의 주요 부품에 대해서는
전량 수입에 의존 하고 있습니다.
언급된 주요 부품에 대해서 설명을 드리면 Chamber로 이루어진 발생장치 안에 O2를
주입하고 촉매제와 플라즈마를 이용하여 O3를 발생시키는 역할로서 발생기의 핵심이라
고 할 수 있습니다.
자사 보안 규정에 따라 자세한 내용을 설명드릴 수 없는 점 양해를 부탁 드립니다,
핵심 기술에 대한 위탁 및 공동 연구개발을 계획하고 있습니다.
교수님께서 시간이 되시면 저희 회사 인원과 함께 찾아 뵙고 프레젠테이션을 진행 했으
합니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] | 2361 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 12954 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 49619 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 61116 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] | 79628 |
| 102 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] | 141 |
| 101 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 263 |
| 100 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] | 309 |
| 99 | IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] | 319 |
| 98 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 338 |
| 97 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 357 |
| 96 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 381 |
| 95 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 382 |
| 94 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 413 |
| 93 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 428 |
| 92 | RF matcher와 particle 관계 [2] | 433 |
| 91 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 443 |
| 90 | 알고싶습니다 [1] | 452 |
| 89 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 500 |
| 88 | 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] | 513 |
| 87 | ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] | 544 |
| 86 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] | 588 |
| 85 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 682 |
| 84 | 고진공 만드는방법. [1] | 723 |
| » | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 756 |
연구원님, 아쉽지만 저희가 오래 전에 이온나이저 관련 연구를 했었어서, 낡은 지식밖에 남아있지 않습니다. 저희가 별 도움이 되지 못할 것 같습니다. 오존발생기에 대해서는 KIST에 한승희박사님을 추천드립니다. 역시 오래전에 오존발생기에 대해서 깊은 연구를 수행하신 경험이 있으신 것으로 알고 있습니다. 문의, 감사합니다.