CVD 설비에서 GENERATOR에서 온 AC POWER는 MATCHER를 거쳐 S/H로 공급되는데요

 

MATCHER ~ S/H간 연결 방식이 장비 MAKER마다 다른데 특별한 이유가 있나요?

 

어느 설비는 단단하게 고정된 CU, AG 재질을 쓰는 곳이 있고, 어느 설비는 얇은 끈, 전선같은 방식을 채택하기도 하던데

 

RF 전송 PATH의 굵기, 곡률(직각, 직선, 곡률이 있는경우), 재질과 같은 H/W적 요소가 IMPEDANCE MATHCING에 어떤 영향을 미치나요?

 

어떤 내용이나 자료를 공부하면 알 수 있나요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4910
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16244
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63756
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83570
108 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 22
107 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 29
106 Plasma Arching [1] 101
105 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 204
104 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 220
103 RF 파워서플라이 매칭 문제 [1] 289
102 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 386
101 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 419
100 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 420
99 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 436
98 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 438
» IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 488
96 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] 498
95 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 535
94 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 605
93 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 612
92 알고싶습니다 [1] 631
91 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 633
90 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 682
89 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 775

Boards


XE Login