Others 반도체 관련 플라즈마 실험
2022.08.08 11:39
고등학교 재학 중인 김민정입니다.
다름이 아니라 실험 계획서를 작성해야 하는데 플라스마와 반도체 식각과 관련해서 진행할 수 있는 실험 있을까 해서 질문드립니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [182] | 75022 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18864 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56341 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66858 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88327 |
| 110 |
ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다
[1]  | 54 |
| 109 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 297 |
| 108 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 394 |
| 107 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 407 |
| 106 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 484 |
| 105 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 500 |
| 104 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 543 |
| 103 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 560 |
| » | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 572 |
| 101 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 583 |
| 100 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 609 |
| 99 | Plasma Arching [1] | 668 |
| 98 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 685 |
| 97 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 719 |
| 96 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 792 |
| 95 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 862 |
| 94 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 879 |
| 93 | 고진공 만드는방법. [1] | 899 |
| 92 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 942 |
| 91 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 947 |
과학관에서 아이디어를 얻는 것이 좋을 것 같습니다. 특히 플라즈마 관련 실험은 안전 문제를 반드시 고려해야 합니다. 실험 계획서에 이 부분에 대한 고려를 포함하는 것이 좋겠네요.