질문 ::

안녕하세요.
저는 수원대학교에서 CCP 장비로 표면처리(세정,식각)에 관한 연구를 수행하고 있습니다.
이번에 추가로 펌프 장비를 꾸미게 되었는데 가격이 만만치가 않네요.
현재 로터리 펌프만 연결되어 있어 터보펌프로 장착할려고 했는데 예산보다 천만원이나 비싸서(환율, 단종으로 인한 업그레이드로 가격 상승 등) 아직 결정을 못하고 있습니다.
그런데 터보펌프대신에 Difusion pump를 사용해도 될런지요...
확산펌프는 가격이 상당히 저렴하던데...펌핑능력도 괜찮은것 같구요.
제가 알고 싶은 사항은
확산펌프는 케미칼에 의해 오일이 오염될 염려와 경원소의 펌핑에 적합하다고 하던데 제가 사용하는 가스는 CF4, CHF3, Ar, 산소 등이거든요.
이러한 가스로 확산펌프를 사용해도 될런지 궁금합니다.
교수님께서 실험실 장비 꾸미신 히스토리와 펌프에 대한 의견을 들었으면 연구에 정말 많은 도움이 될 수 있을것 같습니다.
터보는 게이지 포함해서 한 3천만원 정도이고 확산은 천만원이면 될 것 같더군요..혹시 터보가 너무 비싼건가요??
미리 답변에 감사드립니다.
항상 건강하시고 더위 조심하십시요.

답변 ::

corrosion free pump

표면 처리, 특히 식각등을 목적으로 process에는 diffusion pump를 사용하고 있지 않습니다.
질문자가 예상하고 있듯이 오염 문제가 심각합니다. 따라서 Turbo pump를 사용하겠지요.
하지만 Turbo pump를 사용함에도 turbo의 회전 날등에 부식방지처리가 된 것을 사용합니다.
당연한 고려입니다. 또한 이에 따라서 가격은 차이가 납니다.
자세한 가격을 pump회사에 문의하시기 바라며 혹은 중고를 재생하는 경우에는 가격이 비교적
저렴하니 이런 방법에 대해서 경험이 많으신 지도 교수님과 상의하시기 바랍니다.