ESC ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다.
2014.06.03 09:05
안녕하세요.
식각공정 설비 Eng'r로 근무하고 있는데요.
최근 Metal 식각을 하는 설비의 ESC Chuck에 이전에는 보지 못한 현상이 있어 이렇게 문의 드립니다.
첨부한 그림에서 처럼 ESC Chuck Center 부위에 Pit 현상이 발생하고 있습니다.
BIPOLAR ESC구요. Chucking 전압은 700v이고 Dechuck전압은 -700v 입니다.
이런 현상이 발생하는 요인으로 어떤 것들이 있는지.....
바쁘시겠지만 답변 부탁드립니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76683 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57156 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68676 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92193 |
| 101 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 839 |
| 100 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 842 |
| 99 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 878 |
| 98 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 957 |
| 97 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1003 |
| 96 | 고진공 만드는방법. [1] | 1006 |
| 95 | Plasma Arching [1] | 1039 |
| 94 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1112 |
| 93 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1154 |
| 92 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 1221 |
| 91 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 1263 |
| 90 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1]  | 1323 |
| 89 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1407 |
| 88 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1429 |
| 87 | 알고싶습니다 [1] | 1447 |
| 86 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1454 |
| 85 | rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] | 1457 |
| 84 | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1463 |
| 83 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] | 1502 |
| 82 | IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] | 1507 |