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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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13.56MHz resonator 해석 관련 문의
[1] | 1796 |
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PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성....
[1] | 1845 |
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CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다
[1] | 1914 |
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Si Wafer Broken
[2] | 2028 |
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Load position 관련 질문 드립니다.
[1] | 2095 |
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플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다.
[2] | 2130 |
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Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 2130 |
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안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1]  | 2265 |
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matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 2266 |
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임피던스 매칭회로
[1] | 2313 |
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Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 2323 |
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Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
[2] | 2344 |
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플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요?
[1] | 2425 |
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dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 2529 |
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Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 2927 |
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ESC Cooling gas 관련
[1] | 3147 |
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ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할
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matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다.
[1] | 4337 |
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매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~
[1] | 4614 |
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ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다.
[1] | 4865 |
