안녕하세요. 반도체 장비부품쪽 업종에서 일을 하고 있습니다.


현재 Etch 장비를 Coating 후 1Cycle을 사용한 후 Particle Issue가 일어나 중간에 세정을 진행하여 장착하면 E/R값이 상승합니다.


E/R값을 잡기 위해서 세정후에 Coating면에 Plasma를 조사하면 어떨까 하는데 효과가 있을지가 궁금하고 E/R값이 전반적으로 어떤 것에 영향이 미치는지 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [300] 77759
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20730
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57648
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69148
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93413
87 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1497
86 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1503
85 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1504
» 알고싶습니다 [1] 1506
83 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1616
82 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1637
81 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1654
80 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1745
79 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1906
78 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1949
77 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1986
76 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1998
75 chamber impedance [1] 2050
74 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 2235
73 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2316
72 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 2427
71 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2431
70 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2444
69 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2499
68 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2505

Boards


XE Login