질문하실 때 실명을 사용하여주세요.

2010.11.25 15:38

관리자 조회 수:105592 추천:380

플라즈마에 관심있으신 모든 분이 활용하고 플라즈마의 지식을 공유할수 있는 공간을 제공한다라는 원칙을 갖고 있습니다. 따라서 의견을 개진 하실 때는 자신의 이름을 분명히 밝혀주셔야 합니다. 그럼으로써 서로 알고 있는 플라즈마의 지식을 자유롭게 공유할 수 있을 것 입니다. 이 사항을 협조하여 주지기 바랍니다. 본인의 이름을 밝히지 않는 사람의 의견은 일주일 이내에 내용이 삭제됩니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102347
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24602
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61267
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73360
» 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105592
52 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [ESC, 쉬스 전기장 및 bias 전력 조절] [1] 6215
51 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [VI probe] [3] 6477
50 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [회로인자 및 구동기구, 플라즈마 특성] [1] 6513
49 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매커니즘 문의.. [플라즈마 leak와 국부방전] [1] 6779
48 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [플라즈마 임피던스 및 내부 임피던스 변화] [2] 6786
47 ETCH 관련 RF MATCHING중 REF 현상에 대한 질문입니다. [플라즈마 응답 특성] [1] 7553
46 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [High Power RFG] [2] 7979
45 정전척 isolation문의 입니다. [Paschen's law와 절연파괴현상] [1] 8084
44 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [연속공정] [4] 9588
43 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다.. 도와주십시오 ㅠㅠ [플라즈마의 진공과 가스 주입] [1] 10331
42 ICP 구성에서 PLASMA IGNITON시 문의 [ICP와 플라즈마 발생] [1] 10444
41 matcher에서 load, tune의 역할이 궁금합니다. [Matcher와 impedance] [1] 12488
40 반응기의 면적에 대한 질문 [전극의 면적에 따른 전압 강하] 12905
39 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. [플라즈마 영향 인자] 13304
38 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 15134
37 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 15747
36 Virtual Matching [Impedance matching] 16984
35 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 17224
34 Electrode의 역할에 대해서 궁금합니다. [이차전자의 방출과 스퍼터링] 17499
33 electrode gap 18137

Boards


XE Login