번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102230
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24580
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61234
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73322
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105554
112 Dry Etcher 내 reflect 현상 [Chuck 전압/전류 및 field breakdown] [2] 22537
111 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [Coaxial cable과 wave shield] [1] file 21499
110 ICP 플라즈마 매칭 문의 [Matching과 breakdown] [2] 21490
109 CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [플라즈마 확산 및 전력정합 영역 제어] [1] file 20633
108 플라즈마 matching [Heating mechanism, matching] 20505
107 석영이 사용되는 이유 [플라즈마 내식성과 불순물 제어] [1] 20440
106 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [Plasma 대면재료와 공정법] [1] 20029
105 scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [RF matching 및 반응 단면적] [2] 19470
104 CCP/ICP에서 자석의 역할에 대하여 [ICP와 자기장의 역할] 19466
103 MFC [Direct liquid injection] 19406
102 최적의 펌프는? [Turbo Pump와 corrosion free] 18628
101 Faraday shielding & Screening effect [Fluctuation과 grid bias] 18480
100 electrode gap 18136
99 Electrode의 역할에 대해서 궁금합니다. [이차전자의 방출과 스퍼터링] 17497
98 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 17223
97 Virtual Matching [Impedance matching] 16983
96 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 15742
95 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 15045
94 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. [플라즈마 영향 인자] 13304
93 반응기의 면적에 대한 질문 [전극의 면적에 따른 전압 강하] 12905

Boards


XE Login