Others 반도체 관련 플라즈마 실험
2022.08.08 11:39
고등학교 재학 중인 김민정입니다.
다름이 아니라 실험 계획서를 작성해야 하는데 플라스마와 반도체 식각과 관련해서 진행할 수 있는 실험 있을까 해서 질문드립니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76650 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20148 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57148 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68669 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92126 |
| 21 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 839 |
| 20 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 810 |
| 19 |
ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다
[1]  | 760 |
| 18 | RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] | 712 |
| 17 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 695 |
| 16 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 655 |
| 15 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 632 |
| 14 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 623 |
| 13 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 584 |
| 12 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 545 |
| 11 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 543 |
| 10 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 533 |
| 9 | 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] | 471 |
| 8 | CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] | 403 |
| 7 |
CURRENT PATH로 인한 아킹
[1] | 387 |
| 6 | chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] | 353 |
| 5 | 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] | 344 |
| 4 | PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] | 322 |
| 3 | Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] | 189 |
| 2 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 66 |
과학관에서 아이디어를 얻는 것이 좋을 것 같습니다. 특히 플라즈마 관련 실험은 안전 문제를 반드시 고려해야 합니다. 실험 계획서에 이 부분에 대한 고려를 포함하는 것이 좋겠네요.