번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [131] 5626
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16925
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51354
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64230
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84395
69 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9202
68 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 7208
67 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7181
66 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6577
65 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6231
64 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 6078
63 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 5956
62 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5710
61 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5369
60 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5159
59 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4630
58 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 4359
57 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 3843
56 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 3705
55 ESC Cooling gas 관련 [1] 2947
54 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2691
53 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2273
52 임피던스 매칭회로 [1] file 2217
51 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2208
50 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2194

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