Chamber Impedance chamber impedance

2019.09.24 15:45

nok73 조회 수:2009

안녕하십니까? 교수님, 


ALD 챔버를 제작되기 전에 매쳐 설계를 해야 하는 상황이어서 질문 드립니다. 

알루미늄 챔버의 사이즈, 전극사이즈, 웨이퍼사이즈, 전극과 웨이퍼 간격, 압력등의 정보를 가지고 챔버임피던스 계산이 가능 한지요? 

또한 시뮬레이션 하는 툴이 있을까요? 

답변을 부탁 드립니다. 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [267] 76710
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20162
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57162
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68684
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92245
61 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3176
60 RF matcher와 particle 관계 [2] 2909
59 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2815
58 임피던스 매칭회로 [1] file 2804
57 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2579
56 Si Wafer Broken [2] 2508
55 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2491
54 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2435
53 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2339
52 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2329
51 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2316
50 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 2311
49 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2225
» chamber impedance [1] 2009
47 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 2002
46 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1949
45 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1909
44 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1868
43 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1844
42 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1703
쓰기
태그

Boards

XE Login