번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76677
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20150
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57151
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68672
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92181
61 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3170
60 RF matcher와 particle 관계 [2] 2903
59 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2812
58 임피던스 매칭회로 [1] file 2798
57 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2574
56 Si Wafer Broken [2] 2500
55 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2489
54 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2430
53 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2336
52 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2326
51 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 2307
50 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2307
49 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2223
48 chamber impedance [1] 2006
47 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1995
46 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1948
45 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1907
44 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1867
43 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1841
42 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1700
쓰기
태그

Boards

XE Login