ESC ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다.
2014.06.03 09:05
안녕하세요.
식각공정 설비 Eng'r로 근무하고 있는데요.
최근 Metal 식각을 하는 설비의 ESC Chuck에 이전에는 보지 못한 현상이 있어 이렇게 문의 드립니다.
첨부한 그림에서 처럼 ESC Chuck Center 부위에 Pit 현상이 발생하고 있습니다.
BIPOLAR ESC구요. Chucking 전압은 700v이고 Dechuck전압은 -700v 입니다.
이런 현상이 발생하는 요인으로 어떤 것들이 있는지.....
바쁘시겠지만 답변 부탁드립니다.
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