제가 얼마전에 회사에 입사하였는데 일하는 부서도 플라즈마파트가 아님에도 뜬금없이 숙제를 하나 받았습니다.

다른건 하나도 가르쳐 주지 않고 질소를 1로 했을때 암모니아와 아르곤의 C.F.를 알아오라네요...

아무리 찾아도 무슨말인지도 모르겠습니다ㅠㅠ

어뜨케 어뜨케 간신히 찾아다니다 보니 mass flow에 관련된 거 같긴한데 이마저도 모르겠습니다.

저도 아는게 하나도 없어서 이렇게 밖에 질문 못하는점 양해 부탁드립니다.

혹시 아시는분 계시면 댓글이나 메일로 답장 부탁 드리겠습니다.

부단히 공부해서 다음에 질문할때는 초보티를 벗어나도록 하겠습니다.

감사합니다.

메일주소는 : say2541@naver.com 입니다.^^

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76543
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
61 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3115
60 RF matcher와 particle 관계 [2] 2859
59 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2805
58 임피던스 매칭회로 [1] file 2790
57 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2566
56 Si Wafer Broken [2] 2473
55 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2470
54 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2418
53 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2306
52 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2294
51 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 2292
50 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2270
49 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2203
48 chamber impedance [1] 2003
47 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1950
46 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1947
45 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1904
44 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1861
43 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1808
42 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1685

Boards


XE Login