Others 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요?
2010.06.21 01:53
안녕하세요?
플라즈마 응용연구실 인원 여러분
저는 성대 박사과정으로 있는 박형식이라고 합니다.
다름이 아니오라 제가 새벽에 실험 중에 갑작스런 현상이 발생한 것에 대해 궁금한 것이 이렇게 질문을 하게 되었습니다.
제가 스퍼터에 대해 실험 중에 DC 파워를 인가하는 중에 DC 파워 디스플레이에 high impedance란 메시지가 떴습니다.
혹시 몰라 일단 DC 파워는 off 시킨 상태이구요.
원인이 정확히 무엇인지 알고 싶습니다.
기타 실험 조건들에 대해서는 아래 적어 놓겠습니다. 확인하시고 답변 주시면 감사하겠습니다.
--> 압력 : 0.5mtorr (Ar 10 sccm), 파워 500W, 온도 240oC, Tilt 각도 : 40 deg, 거리 가변 불가, 5rpm
타겟은 산화물 타겟이며 Al2O3 2wt.% doped ZnO 타겟입니다.
DC 파워는 피에스 플라즈마 SDC1024A 이고 파워 범위는 최대 2kW입니다.
혹 챔버 용량에 비해 가스량이 적으면 문제가 되는 것인지? 아니면 다른 문제인지..알고 싶습니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76727 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20189 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68699 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92278 |
| 42 |
전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1]  | 1598 |
| 41 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] | 1515 |
| 40 | IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] | 1514 |
| 39 | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1463 |
| 38 | rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] | 1459 |
| 37 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1459 |
| 36 | 알고싶습니다 [1] | 1457 |
| 35 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1429 |
| 34 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1418 |
| 33 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1] | 1324 |
| 32 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 1270 |
| 31 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 1223 |
| 30 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1157 |
| 29 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1113 |
| 28 | Plasma Arching [1] | 1051 |
| 27 | 고진공 만드는방법. [1] | 1008 |
| 26 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1008 |
| 25 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 960 |
| 24 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 883 |
| 23 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 844 |