Matcher RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
2021.07.05 14:38
안녕하세요. 에칭 장비 Eng'r로 근무중에 있습니다.
한가지 문의 사항이 있어서 이렇게 글을 작성하게 되었습니다.
Matcher에 연결되어 있는 60Mhz RF 케이블에서 발열현상이 나타나고 있습니다.
-> 케이블 피복 온도가 70도 이상 상승.
RF 케이블의 발열 현상이 정상적인 현상인지 아니 설계적 약점이나 매칭 불안정에서
나타나는 현상인지 궁금해서 문의드립니다.
그리고 케이블 발열 현상이 어떤 문제가 발생될수 있는지 문의 드립니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [101] | 3647 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 15336 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 50576 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 62991 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] | 82102 |
| 25 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1]  | 930 |
| 24 | 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] | 911 |
| » | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] | 857 |
| 22 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 802 |
| 21 | 고진공 만드는방법. [1] | 770 |
| 20 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 757 |
| 19 | ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] | 703 |
| 18 | RF matcher와 particle 관계 [2] | 693 |
| 17 | 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] | 668 |
| 16 | 알고싶습니다 [1] | 585 |
| 15 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 569 |
| 14 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] | 554 |
| 13 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 547 |
| 12 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 539 |
| 11 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 491 |
| 10 | IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] | 434 |
| 9 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 417 |
| 8 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 411 |
| 7 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 402 |
| 6 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] | 401 |
1. 케이블 위치가 Match output 에 연결되어 있는 RF cable이 발열이 생긴다면, RF cable이 inductor의 역할로 인하여 발열이 생기는 것입니다. RF circuit에 직렬로 연결되어 있는 inductor는 발열과 직접적으로 상관관계가 있습니다. 더 나아가 chamber의 impedance를 측정하는 것이 우선입니다. 이때 impedance 측정할 때 RF cable을 포함하여 측정합니다. 실저항이 낮을 수록 높은 current가 발생하고 있는 것이므로, 레시피 조정(낮은 파워) 혹은 match direct type을 사용하기 권장드립니다.
2. Match가 chamber heater에 가까이 있으면 GND를 통해 cable의 쉴드자켓이 뜨거워지는 경우도 있으니 장비 사용에 유의하셔야합니다. 장비의 high tempo는 high current를 유도합니다.
3. Generator to match 가는 동축케이블의 발열이 심하다면 교체가 우선으로 보입니다.
4. RF cable network analyzer로 impedance, return loss, vswr을 점검할 필요가 있어 보입니다.
RF cable이 뜨거워 지면 절연체가 파괴되어 송신 능력이 떨어져 Reflected power 혹은 cable 파손(내전압 전류 spec 파괴)을 유도할 수 있습니다.