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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64190
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37 Plasma Arching [1] 293
36 RF 파워서플라이 매칭 문제 392
35 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 562
34 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 771
33 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 721
32 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1017
31 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 881
30 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 1148
29 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 671
28 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 1950
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26 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2047
25 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 3622
24 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 634
23 임피던스 매칭회로 [1] file 2197
22 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 4243
21 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5699
20 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1580
19 MATCHER 발열 문제 [3] 1170
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