Matcher Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [플라즈마 임피던스 및 내부 임피던스 변화]

2019.07.22 10:20

Seong 조회 수:6626

다른 질문사항에 Matcher 매칭회로에서 Load, Tune에 관한 설명을 봤는데요

공정을 진행하다보면 간헐적으로 Load, Tune 값이 바뀌며 Vpp drop이 발생합니다.

PEALD 장비에서 Load와 Tune 값에 영향을 미치는 요소들이 뭐가 있을지 궁금합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [326] 93343
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 23667
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 60371
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72206
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 102438
24 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model] [1] 1054
23 임피던스 매칭회로 [전기공학 회로 이론 및 impedance matching] [1] file 3227
22 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [RF 전력 전달] [1] 5613
» Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [플라즈마 임피던스 및 내부 임피던스 변화] [2] 6626
20 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [플라즈마 dielectric property] [4] 2716
19 MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance] [3] 1698
18 Impedence 위상관련 문의 [Circuit model, matching] [1] 1692
17 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [연속공정] [4] 9409
16 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [최적 정합 조건 및 정합 시간] [2] 2816
15 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [Wave guide 및 matcher position 변화] [1] 2198
14 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching] [1] 2113
13 RF calibration에 대해 질문드립니다. 6122
12 ETCH 관련 RF MATCHING중 REF 현상에 대한 질문입니다. [플라즈마 응답 특성] [1] 7508
11 ICP 구성에서 PLASMA IGNITON시 문의 [ICP와 플라즈마 발생] [1] 10313
10 ICP 플라즈마 매칭 문의 [Matching과 breakdown] [2] 21446
9 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23458
8 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [Matching과 L-type] [1] 48736
7 matching box에 관한 질문 [ICP Source 설계] [1] 29982
6 scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [RF matching 및 반응 단면적] [2] 19429
5 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [Impedance matching과 반사파 형성] [3] 22762
쓰기
태그

Boards

XE Login