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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[268]
| 76711 |
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20163 |
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57163 |
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 68686 |
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 92251 |
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42 |
스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다
| 68 |
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41 |
PECVD설비 Matcher 아킹 질문
[2] | 544 |
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40 |
RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계
[2] | 728 |
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39 |
CURRENT PATH로 인한 아킹
[1]  | 389 |
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38 |
반사파와 유,무효전력 관련 질문
[2] | 347 |
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37 |
Plasma Arching
[1] | 1046 |
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36 |
RF 파워서플라이 매칭 문제
| 814 |
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35 |
RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다.
[1] | 1006 |
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34 |
Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다.
[1] | 1510 |
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33 |
임피던스 매칭 및 플라즈마 진단
[1] | 1269 |
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32 |
RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
| 1455 |
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31 |
매칭시 Shunt와 Series 값
[1] | 1845 |
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30 |
안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다.
[1] | 2317 |
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29 |
RF 반사파와 이물과의 관계
[1] | 1112 |
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28 |
Load position 관련 질문 드립니다.
[1] | 2435 |
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27 |
Interlock 화면.mag overtemp의 의미
| 585 |
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26 |
Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 3912 |
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matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다.
[1] | 10340 |
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매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다.
[1] | 839 |
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23 |
임피던스 매칭회로
[1] | 2804 |
