Matcher matching box에 관한 질문

2010.05.05 13:54

김정욱 조회 수:29651 추천:212

안녕하세요...
저는 반도체 회사에서 근무하는 사람입니다..
matching box 관련하여 질문이 있어서 글을 올립니다..
현업에서 matching box관련 monitoring하는 parameter중 Load position과 Tune position이란 게 있습니다..
여기 사이트에서 load capacitor와 tune capacitor 얘기가 언급되어 아마 capacitor 관련 용어인 것으로 짐작
되어 지는데 정확한 의미와 역할을 알고 싶습니다..
제 나름대로 확인한 바로는 impedance matching은 L nework와 Pi network가 있는데 위에서 언급한 Load
capacitor와 Tune capacitor는 Pi network에서 사용되는 2개의 capacitor 이름인가요?
답변 부탁 드립니다..

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91694
42 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 47761
41 Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) 35819
» matching box에 관한 질문 [1] 29651
39 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27589
38 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23317
37 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22571
36 ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] 21182
35 플라즈마 matching 20218
34 scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] 19204
33 Virtual Matchng 16851
32 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 10223
31 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9816
30 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 8035
29 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7062
28 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6249
27 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5784
26 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 5020
25 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 3857
24 임피던스 매칭회로 [1] file 2789
23 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2469

Boards


XE Login