Others 공정검사를 위한 CCD 카메라 사용
2004.06.19 16:42
만일 플라즈마의 on/off 상태를 알 고자 함이면 일반적인 CCD 카메라를 이용해서
감시할 수 있을 것이며 특별할 상태의 빛 파장대를 관찰하고자 한다면 이 주파수에
맞는 lenz와 filter등을 이용한 CCD를 사용하여야 합니다. 혹은 corona streamer
등을 측정하고자 한다면 수 mirosec의 변화를 관찰할 수 있는 intensified CCD를
사용하게 됩니다. 이때는 CCD의 time resolution이 문제가 되니 이점을 잘 고려
하여야 할 것입니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] | 79393 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 21298 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 58102 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69656 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 94505 |
| 14 | [질문] Plasma density 측정 방법 [Plasma property와 sputtering] [1] | 22778 |
| 13 |
IEDF EQP에 대한 답변
 | 20842 |
| 12 | 플라즈마 진단법에 대하여 [플라즈마 진단과 Spectroscopy] [1] | 20699 |
| 11 | 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [Enthalpy probe] [1] | 20325 |
| 10 | QMA에 관하여 [1] | 19494 |
| 9 |
AMS진단에 대하여 궁금합니다
| 19074 |
| 8 | RF compensate probe | 18486 |
| 7 |
PSM을 이용한 Radical 측정 방법 [이온화 전자 전류의 증가]
| 17138 |
| » | 공정검사를 위한 CCD 카메라 사용 | 16122 |
| 5 | laser induced plasma의 측정에 관하여 [Ablation plasma와 resolution] | 14754 |
| 4 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [OES, VI 신호 및 가상계측 인자] [2] | 2219 |
| 3 | 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [군산대학교 주정훈 교수님] [1] | 2079 |
| 2 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [플라즈마 공간 분포 진단] [1] | 1200 |
| 1 | 활성이온 측정 방법 [한국 기계 연구소 송영훈 박사팀] [1] | 628 |