Others [질문] Plasma density 측정 방법
2011.09.04 20:32
안녕하세요.
큐에스아이라는 회사의 coating field를 담당하는 우병화 사원이라고 합니다.
한가지더 의문점이 있어서 문의 드립니다.
현재 장비로는 ECR sputter, RF sputter 를 보유 하고 있습니다.
현재 저의 장비의 plasma density를 알고 싶은데 계측장비를 구입하기는 너무 액수가 큽니다.
간단히 자사에서 쉽게 계측할 수 있는 방법이 있는지에 대해서 여쭤보고 싶습니다.
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