안녕하세요.

 

플라즈마 클리닝 설비를 다루고 있는 엔지니어입니다.

설비 평가중 궁금한점이 있어서 문의하고자 글을 쓰게 되었습니다.

 

현재 저희 설비는 CCP 구조의 다이렉트 쳄버로 RF Generator와 Matcher를 사용하는 

플라즈마 세정 설비입니다.

 

금번 평가시 사용하였던 자재는 Cu Layer가 노출되어있는 PCB 자재이고 챔버내 Rail이 3개로

Full Loading시 3개가 로딩되는 형식입니다. 그리고 가스는 Ar 10sccm에 파워 425W, 시간 100sec를 쓰고 있습니다.

 

여기서 문제가 되고 있는 점이, 자재 3개 (Full Loading) 로딩시에는 문제가 없는데

1ea개만 로딩하였을때 Rail 위치 상관없이 Cu Layer에서 Discolor (Cu층이 어둡게 변함)가 나오고 있습니다.

저희 판단으로 Cu가 산화 반응을 일으킨 것으로 보고 있습니다.

 

이렇게 자재 로딩 수에 따라 Discolor가 나오기도 하고 안나오기도 하는점이 이해가 안되고

플라즈마 이론적으로 어떻게 해석해야 하는지 몰라 문의드리고 싶습니다.

 

저희가 생각하기에는

첫번째, 같은 쳄버내 체적, 같은 가스량으로, 플라즈마 이온들이 아무래도 3개의 자재의 

분산되다 보니 자재당 플라즈마 효과는 떨어지고 그래서 Discolor도 적어진다고 생각하고,

 

두번째, Full Loading시 1개 로딩보다 상대적으로 전자 축적이 분산되어 약한 음전위(Self Bias)가 걸리게 되어

플라즈마 효과가 감소되고 Discolor도 감소하게 되지 않나 생각하고 있습니다.

 

플라즈마 전문가분들께 꼭 답변을 들어 원인을 알아내 해결을 하고 싶습니다.

부디, 플라즈마에 대한 넓은 식견과 해안으로 도와주시면 감사하겠습니다.

 

※ 저희 설비 CCP구조 도식 및 실제 쳄버사진도 참고용으로 첨부하였습니다. (사진내 자재는 금번 질문과는 상관이 없습니다.)

 

플라즈마 쳄버.png

 

CCP 쳄버구조.png

답변부탁드립니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
142 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1045
» 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 856
140 doping type에 따른 ER 차이 [1] 2038
139 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 4121
138 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 1893
137 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1088
136 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3949
135 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1141
134 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1267
133 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 718
132 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2662
131 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1958
130 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 860
129 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 399
128 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1079
127 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1146
126 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 745
125 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 672
124 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1107
123 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2387

Boards


XE Login