Deposition PEALD관련 질문

2019.06.21 13:12

베컴 조회 수:32612

안녕하십니까?


현재 에쳐장비 현업에 종사하고 있는데...

PEALD관련논문을 서치중에 있습니다.

PEALD관련 혹시 추천해주실 논문이나 자료가 있다면, 부탁드리겠습니다.

감사합니다.

수고하십시오.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20168
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68690
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92262
122 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 888
121 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 2257
120 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1375
119 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1086
118 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1241
117 질문있습니다 교수님 [1] 22112
116 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1726
115 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 6563
114 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3642
113 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2966
112 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 540
111 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1930
110 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3269
109 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1176
108 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2869
» PEALD관련 질문 [1] 32612
106 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1070
105 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 708
104 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1980
103 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1494
쓰기
태그

Boards

XE Login