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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68818
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184 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 46
183 플라즈마 식각 커스핑 식각량 45
182 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 151
181 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 77
180 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 216
179 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 77
178 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 268
177 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 190
176 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 209
175 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 236
174 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 272
173 PECVD Uniformity [1] 560
172 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 421
171 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 821
170 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 331
169 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 306
168 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 646
167 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 259
166 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 589
165 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 410

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